中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(http://www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。
产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间（可以进行ESD，EMC等测试），年生产能力达3000台套。
产品推广与售后服务部：有专业... [
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